24小时热门版块排行榜    

查看: 6426  |  回复: 42

Illusionist

银虫 (正式写手)


engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:27
感觉27楼有道理。 “楼主可以试试抽真空时通入氩气,稀释氧浓度! ”
我也做过溅射Ti金属。你的本底真空已经很高了。Ti本身是很难氧化的材料,感觉说什么在空气中氧化的,有些不靠谱。应该是腔体还有氧气,可以多次通入氩气,稀释氧浓度。衬底洗干净一些·····
祝你好运。
31楼2012-01-07 22:54:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

宇星

金虫 (正式写手)


engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:37
不知道楼主基片有没有加热,一般的话我们都是让基片冷到30-40度才拿出来,期间一直保持高真空。
做好自己该做的事情!
32楼2012-01-08 11:15:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deguolao2781

银虫 (小有名气)

应该是你的进气管道漏气(大气),我们之前碰到过这种情况。请换一路进气管路试一下。只可能是这个原因。
33楼2012-02-09 14:23:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Joindenver

银虫 (小有名气)

我实验时,氩气放电时是紫色的,没有遇见过蓝色情况,怀疑氩气的实际纯度。另外沉积过程中,工作压强变化大不?设备是否漏气,建议实验前检测设备的漏率
34楼2012-02-09 22:53:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangxaut

铜虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
设备漏气,和我以前的问题一样,我做Cr系列,也遇到过同样的问题,明明没有氧,XRD出来居然有O含量,如果是漏气,氧含量应该不大,此时你可以忽略氧的影响,在论文中注明由空气进入炉腔即可,很多论文都是这样解释的
35楼2012-02-15 15:13:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

1. 确认一下是否靶材本身就有些氧化
2. 是不是预溅射时间比较短,表面的那层氧化层没有完全出去
3. 溅射腔是否烘烤过,出去内壁吸附的水汽和氧
4. 确认通入的Ar的纯度,国内的气瓶的标称纯度高,实际纯度低很多
36楼2012-04-12 16:52:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zipia110

新虫 (小有名气)

你镀完是什么时候破真空的?
37楼2012-04-13 00:26:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

viviqingcai

铁虫 (初入文坛)

楼主有打开腔室看过靶的状态吗?靶表面有变化吗?
38楼2012-09-06 16:06:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

清流12345

木虫 (著名写手)

你好 楼主,你的样品是怎么清洗的呢 我的样品是直接用乙醇丙酮溶液清洗后就去镀膜的,不过总是镀完膜之后发现金膜特别容易掉下来。到底最好的做怎么样的清洗会更好些呢
努力
39楼2014-03-13 09:53:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hudi8919

铁虫 (初入文坛)

应该是欠氧,二氧化钛是无膜色的,在镀膜时充一定的氧气试试
加油,别放弃
40楼2015-02-13 13:35:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jeffwell 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +55 医学老男孩 2026-08-13 123/6150 2026-08-19 23:44 by stan_et
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +13 kkkl_v 2026-08-19 13/650 2026-08-19 22:37 by 宝贝虫子
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +12 基诺咪客 2026-08-17 16/800 2026-08-19 22:04 by kk 的小木虫
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖? +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +10 yuleib84 2026-08-18 11/550 2026-08-19 07:30 by 羽毛枫f
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
请填处理意见