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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
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Illusionist

银虫 (正式写手)
★
engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:27
感觉27楼有道理。 “楼主可以试试抽真空时通入氩气，稀释氧浓度！ ”
我也做过溅射Ti金属。你的本底真空已经很高了。Ti本身是很难氧化的材料，感觉说什么在空气中氧化的，有些不靠谱。应该是腔体还有氧气，可以多次通入氩气，稀释氧浓度。衬底洗干净一些·····
祝你好运。
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31楼2012-01-07 22:54:23
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宇星

金虫 (正式写手)
★
engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:37
不知道楼主基片有没有加热，一般的话我们都是让基片冷到30-40度才拿出来，期间一直保持高真空。
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做好自己该做的事情!
32楼2012-01-08 11:15:47
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deguolao2781

银虫 (小有名气)
应该是你的进气管道漏气（大气），我们之前碰到过这种情况。请换一路进气管路试一下。只可能是这个原因。
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33楼2012-02-09 14:23:49
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Joindenver

银虫 (小有名气)
我实验时，氩气放电时是紫色的，没有遇见过蓝色情况，怀疑氩气的实际纯度。另外沉积过程中，工作压强变化大不？设备是否漏气，建议实验前检测设备的漏率
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34楼2012-02-09 22:53:42
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zhangxaut

铜虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
设备漏气，和我以前的问题一样，我做Cr系列，也遇到过同样的问题，明明没有氧，XRD出来居然有O含量，如果是漏气，氧含量应该不大，此时你可以忽略氧的影响，在论文中注明由空气进入炉腔即可，很多论文都是这样解释的
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35楼2012-02-15 15:13:13
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
1. 确认一下是否靶材本身就有些氧化
2. 是不是预溅射时间比较短，表面的那层氧化层没有完全出去
3. 溅射腔是否烘烤过，出去内壁吸附的水汽和氧
4. 确认通入的Ar的纯度，国内的气瓶的标称纯度高，实际纯度低很多
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36楼2012-04-12 16:52:09
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zipia110

新虫 (小有名气)
你镀完是什么时候破真空的？
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37楼2012-04-13 00:26:48
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viviqingcai

铁虫 (初入文坛)
楼主有打开腔室看过靶的状态吗？靶表面有变化吗？
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38楼2012-09-06 16:06:22
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清流12345

木虫 (著名写手)
你好 楼主，你的样品是怎么清洗的呢 我的样品是直接用乙醇丙酮溶液清洗后就去镀膜的，不过总是镀完膜之后发现金膜特别容易掉下来。到底最好的做怎么样的清洗会更好些呢
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努力
39楼2014-03-13 09:53:08
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hudi8919

铁虫 (初入文坛)
应该是欠氧，二氧化钛是无膜色的，在镀膜时充一定的氧气试试
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加油，别放弃
40楼2015-02-13 13:35:07
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