24小时热门版块排行榜    

查看: 5608  |  回复: 42

Illusionist

银虫 (正式写手)


engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:27
感觉27楼有道理。 “楼主可以试试抽真空时通入氩气,稀释氧浓度! ”
我也做过溅射Ti金属。你的本底真空已经很高了。Ti本身是很难氧化的材料,感觉说什么在空气中氧化的,有些不靠谱。应该是腔体还有氧气,可以多次通入氩气,稀释氧浓度。衬底洗干净一些·····
祝你好运。
31楼2012-01-07 22:54:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

宇星

金虫 (正式写手)


engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:37
不知道楼主基片有没有加热,一般的话我们都是让基片冷到30-40度才拿出来,期间一直保持高真空。
做好自己该做的事情!
32楼2012-01-08 11:15:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deguolao2781

银虫 (小有名气)

应该是你的进气管道漏气(大气),我们之前碰到过这种情况。请换一路进气管路试一下。只可能是这个原因。
33楼2012-02-09 14:23:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Joindenver

银虫 (小有名气)

我实验时,氩气放电时是紫色的,没有遇见过蓝色情况,怀疑氩气的实际纯度。另外沉积过程中,工作压强变化大不?设备是否漏气,建议实验前检测设备的漏率
34楼2012-02-09 22:53:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangxaut

铜虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
设备漏气,和我以前的问题一样,我做Cr系列,也遇到过同样的问题,明明没有氧,XRD出来居然有O含量,如果是漏气,氧含量应该不大,此时你可以忽略氧的影响,在论文中注明由空气进入炉腔即可,很多论文都是这样解释的
35楼2012-02-15 15:13:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

1. 确认一下是否靶材本身就有些氧化
2. 是不是预溅射时间比较短,表面的那层氧化层没有完全出去
3. 溅射腔是否烘烤过,出去内壁吸附的水汽和氧
4. 确认通入的Ar的纯度,国内的气瓶的标称纯度高,实际纯度低很多
36楼2012-04-12 16:52:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zipia110

新虫 (小有名气)

你镀完是什么时候破真空的?
37楼2012-04-13 00:26:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

viviqingcai

铁虫 (初入文坛)

楼主有打开腔室看过靶的状态吗?靶表面有变化吗?
38楼2012-09-06 16:06:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

清流12345

木虫 (著名写手)

你好 楼主,你的样品是怎么清洗的呢 我的样品是直接用乙醇丙酮溶液清洗后就去镀膜的,不过总是镀完膜之后发现金膜特别容易掉下来。到底最好的做怎么样的清洗会更好些呢
努力
39楼2014-03-13 09:53:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hudi8919

铁虫 (初入文坛)

应该是欠氧,二氧化钛是无膜色的,在镀膜时充一定的氧气试试
加油,别放弃
40楼2015-02-13 13:35:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jeffwell 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 伙伴们,祝我生日快乐吧 +15 myrtle 2026-03-10 24/1200 2026-03-15 21:16 by 苏州_逗号
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +5 wowsunflower 2026-03-10 7/350 2026-03-14 17:21 by kingkocxr
[考研] 255求调剂 +3 李嘉慧, 2026-03-12 4/200 2026-03-14 16:58 by 有只狸奴
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 2026考研调剂+本科延边大学+山东大学+生物化学与分子生物学+有项目经验 +3 ccdsscjy 2026-03-09 6/300 2026-03-14 02:14 by JourneyLucky
[考研] 一志愿安徽大学材料工程专硕313分,求调剂的学校 +8 Yu先生 2026-03-10 10/500 2026-03-14 01:04 by JourneyLucky
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:47 by JourneyLucky
[考研] 材料工程专硕,一志愿中国矿业大学,总分314,求调剂 +5 无懈可击的巨人 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:37 by JourneyLucky
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 285求调剂 +4 ytter 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:48 by jxchenghu
[考研] 304求调剂(085602一志愿985) +12 化工人999 2026-03-09 12/600 2026-03-13 12:02 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂0856材料化工 +12 z2839474511 2026-03-11 13/650 2026-03-13 10:39 by peike
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
信息提示
请填处理意见