直流磁控溅射镀膜总是被氧化 - 金属 - 表面处理 - 第4页小木虫论坛-学术科研互动平台

31楼2012-01-07 22:54:23

宇星

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★
engle028(金币+1): 感谢参与 2012-01-08 11:17:37

不知道楼主基片有没有加热，一般的话我们都是让基片冷到30-40度才拿出来，期间一直保持高真空。

赞一下(2人)

做好自己该做的事情!

32楼2012-01-08 11:15:47

deguolao2781

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应该是你的进气管道漏气（大气），我们之前碰到过这种情况。请换一路进气管路试一下。只可能是这个原因。

33楼2012-02-09 14:23:49

Joindenver

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我实验时，氩气放电时是紫色的，没有遇见过蓝色情况，怀疑氩气的实际纯度。另外沉积过程中，工作压强变化大不？设备是否漏气，建议实验前检测设备的漏率

34楼2012-02-09 22:53:42

zhangxaut

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送鲜花一朵

设备漏气，和我以前的问题一样，我做Cr系列，也遇到过同样的问题，明明没有氧，XRD出来居然有O含量，如果是漏气，氧含量应该不大，此时你可以忽略氧的影响，在论文中注明由空气进入炉腔即可，很多论文都是这样解释的

35楼2012-02-15 15:13:13

wbcui

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1. 确认一下是否靶材本身就有些氧化
2. 是不是预溅射时间比较短，表面的那层氧化层没有完全出去
3. 溅射腔是否烘烤过，出去内壁吸附的水汽和氧
4. 确认通入的Ar的纯度，国内的气瓶的标称纯度高，实际纯度低很多

36楼2012-04-12 16:52:09

zipia110

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你镀完是什么时候破真空的？

37楼2012-04-13 00:26:48

viviqingcai

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楼主有打开腔室看过靶的状态吗？靶表面有变化吗？

38楼2012-09-06 16:06:22

清流12345

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你好楼主，你的样品是怎么清洗的呢我的样品是直接用乙醇丙酮溶液清洗后就去镀膜的，不过总是镀完膜之后发现金膜特别容易掉下来。到底最好的做怎么样的清洗会更好些呢

努力

39楼2014-03-13 09:53:08

hudi8919

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应该是欠氧，二氧化钛是无膜色的，在镀膜时充一定的氧气试试

加油，别放弃

40楼2015-02-13 13:35:07