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chcwyh

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 请问磁控溅射ZnO或者ZnSe需要什么参数啊

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1楼 2011-09-22 16:14:56

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taolp

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-06 20:02:35

20nm用RF直接溅射很快的啦，具体什么参数每台设备都不通用的，你先镀一个测膜厚再修正时间镀第二个就行啦

赞一下(1人)

I'll be back

3楼2011-10-06 19:30:32

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