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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问磁控溅射ZnO或者ZnSe需要什么参数啊
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chcwyh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射ZnO或者ZnSe需要什么参数啊

请问磁控溅射ZnO或者ZnSe需要什么参数啊？我需要镀20nm，但是不知道什么电流什么参数才能镀成那么厚
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1楼 2011-09-22 16:14:56
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qjh445

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-09-27 10:17:46
这个要看靶材为何物，衬底材料，工作气压比例，溅射功率，反射功率等因素
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2楼2011-09-27 10:12:03
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-06 20:02:35
20nm用RF直接溅射很快的啦，具体什么参数每台设备都不通用的，你先镀一个测膜厚再修正时间镀第二个就行啦
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I'll be back
3楼2011-10-06 19:30:32
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