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PZT薄膜怎样从基片上溶解下来?
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pcsmine
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PZT薄膜怎样从基片上溶解下来?
本人做PZT薄膜,想测试一下成分,小木虫上的高手建议用ICP,但是必须将薄膜从基片上溶解下来,成为溶液才行,我不知道用什么方法可以溶解,就高手指点?
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1楼
2011-07-20 09:52:31
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diwunju
at 2011-07-20 11:04:41:
不会的,HF不会腐蚀Si,再说你也不用管它腐蚀了什么,只要你的Zr和Ti全都腐蚀下来就行了。
哦
谢谢啦
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6楼
2011-07-20 11:14:15
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diwunju
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去问ICP的操作员吧。一般就是HF,然后稀释稀释再稀释,否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员,不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的,一般人记不住这些。
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2楼
2011-07-20 10:36:28
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Originally posted by
diwunju
at 2011-07-20 10:36:28:
去问ICP的操作员吧。一般就是HF,然后稀释稀释再稀释,否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员,不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的,一般人记不住这些。
HF会把Si基片也溶解了啊
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3楼
2011-07-20 10:40:05
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diwunju
at 2011-07-20 10:36:28:
去问ICP的操作员吧。一般就是HF,然后稀释稀释再稀释,否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员,不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的,一般人记不住这些。
再发点金币给你 哈哈
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4楼
2011-07-20 10:40:50
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