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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » PZT薄膜怎样从基片上溶解下来？
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pcsmine

木虫 (著名写手)

[求助] PZT薄膜怎样从基片上溶解下来？

本人做PZT薄膜，想测试一下成分，小木虫上的高手建议用ICP，但是必须将薄膜从基片上溶解下来，成为溶液才行，我不知道用什么方法可以溶解，就高手指点？
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1楼 2011-07-20 09:52:31
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pcsmine

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by diwunju at 2011-07-20 10:36:28:
去问ICP的操作员吧。一般就是HF，然后稀释稀释再稀释，否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员，不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的，一般人记不住这些。

HF会把Si基片也溶解了啊
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3楼2011-07-20 10:40:05
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)
去问ICP的操作员吧。一般就是HF，然后稀释稀释再稀释，否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员，不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的，一般人记不住这些。
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2楼2011-07-20 10:36:28
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pcsmine

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by diwunju at 2011-07-20 10:36:28:
去问ICP的操作员吧。一般就是HF，然后稀释稀释再稀释，否则会把石英的比色槽腐蚀。最好去问操作员，不同元素在不同浓度下的灵敏度是不一样的，一般人记不住这些。

再发点金币给你 哈哈
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4楼2011-07-20 10:40:50
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)
不会的，HF不会腐蚀Si，再说你也不用管它腐蚀了什么，只要你的Zr和Ti全都腐蚀下来就行了。
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pcsmine
5楼2011-07-20 11:04:41
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