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zcy7822

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 请教涂膜高手帮小弟解决一个问题,困扰我很久了。谢谢!

我的聚合物用四氢呋喃和环戊酮作为溶剂(环戊酮:四氢呋喃=3:7),由于两者的挥发速度相差较大,旋涂的时候在硅片上出现很多气泡,我已经尝试了很多种转速和旋涂时间,结果都是很不理想,这段时间总给老板批,希望有旋涂的高手能帮小弟一把,真是万分感激了!!!
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SP_spark

金虫 (正式写手)

大将军

溶解完真空抽气泡还是有必要的吧
[img=http://i.WoTuLa.com/note.png?name=z朱健伟&say=神之领域]
13楼2012-03-30 09:24:38
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