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zcy7822

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 请教涂膜高手帮小弟解决一个问题,困扰我很久了。谢谢!

我的聚合物用四氢呋喃和环戊酮作为溶剂(环戊酮:四氢呋喃=3:7),由于两者的挥发速度相差较大,旋涂的时候在硅片上出现很多气泡,我已经尝试了很多种转速和旋涂时间,结果都是很不理想,这段时间总给老板批,希望有旋涂的高手能帮小弟一把,真是万分感激了!!!
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zhangfangzhi

木虫 (职业作家)

那就换挥发慢的溶剂
2楼2011-07-13 18:46:41
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zcy7822

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★
对吻鱼(金币+3): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:03:45
我的样品只有在这两种溶剂中溶的好,溶解的时候都是均相的,我所看到的气泡应该是易挥发的溶剂挥发的很快,使得粘度很快的增大,此时还有没有挥发的溶剂来不及挥发导致被包裹在里面从而形成气泡,要不就形成坑坑洼洼的状态,请问你知道怎么解决比较好吗?其他的溶剂很难溶解,我试过很多了。
3楼2011-07-14 08:23:52
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mulingyan

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
zcy7822(金币+5): 2011-07-14 09:57:44
对吻鱼(金币+3): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:03:54
我现在都是用刷子直接涂,旋涂还没用过呢!你能不能在低温下旋涂啊?
倚楼听风雨,淡看江湖路。
4楼2011-07-14 08:36:34
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czx2910863

铁杆木虫 (正式写手)

豆豆

【答案】应助回帖

★ ★ ★
zcy7822(金币+5): 2011-07-14 10:00:44
对吻鱼(金币+3): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:04:03
引用回帖:
Originally posted by zcy7822 at 2011-07-14 08:23:52:
我的样品只有在这两种溶剂中溶的好,溶解的时候都是均相的,我所看到的气泡应该是易挥发的溶剂挥发的很快,使得粘度很快的增大,此时还有没有挥发的溶剂来不及挥发导致被包裹在里面从而形成气泡,要不就形成坑坑洼 ...

这个主要于聚合物特性以及最后挥发的溶剂的溶解能力有关
建议1 加一点稀释剂降低一下粘度,如甲苯或者二甲苯;另外,尽量的使得固含低一点,让成膜变得缓慢过程中进行。
2 加流平助剂,可以减轻坑坑洼。
西藏,新疆。。。中国永远的痛
5楼2011-07-14 08:41:55
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zcy7822

铁杆木虫 (正式写手)

我也想在温度低的时候旋涂,但是不知道怎么制造一个低温的环境啊?我实验室也没这样的条件,不知道大家有做过这方面的实验吗
6楼2011-07-14 10:03:13
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zcy7822

铁杆木虫 (正式写手)

我的固含量也不高 也就10%左右
7楼2011-07-14 10:03:55
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louie

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
zcy7822(金币+2): 2011-07-14 19:15:29
对吻鱼(金币+2): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:04:17
尝试加一点硅油,不过分子量相对高一点的,一可以缩小两种溶剂挥发差异,二可以改善流平性能
louie
8楼2011-07-14 11:18:27
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zhanghu563

至尊木虫 (职业作家)

waiting

【答案】应助回帖

★ ★
zcy7822(金币+1): 2011-07-14 19:15:14
对吻鱼(金币+2): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:04:25
你用高沸点溶剂,你 的问题是由于是溶剂挥发过快产生的气泡,调解溶剂比例就好了
9楼2011-07-14 13:00:07
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天际奇虾

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
zcy7822(金币+3): 2011-07-14 19:15:00
对吻鱼(金币+3): 感谢应助~~欢迎常来高分子版~:tiger29::tiger06: 2011-08-14 23:04:32
只有THF和环戊酮可以么?我觉得THF应该可以换成别的环醚的,二氧六环试过了没?溶解性和THF比较类似的,也许可以尝试下
10楼2011-07-14 14:51:22
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