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zcy7822铁杆木虫 (正式写手)
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请教涂膜高手帮小弟解决一个问题,困扰我很久了。谢谢!
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我的聚合物用四氢呋喃和环戊酮作为溶剂(环戊酮:四氢呋喃=3:7),由于两者的挥发速度相差较大,旋涂的时候在硅片上出现很多气泡,我已经尝试了很多种转速和旋涂时间,结果都是很不理想,这段时间总给老板批,希望有旋涂的高手能帮小弟一把,真是万分感激了!!!![]() ![]() ![]() |
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zhangfangzhi
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2楼2011-07-13 18:46:41
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3楼2011-07-14 08:23:52
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4楼2011-07-14 08:36:34
czx2910863
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豆豆
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5楼2011-07-14 08:41:55
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6楼2011-07-14 10:03:13
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7楼2011-07-14 10:03:55
louie
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