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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 遇到的电子束刻蚀显影液的问题
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dianbo118

木虫 (小有名气)

[求助] 遇到的电子束刻蚀显影液的问题

我们课题组最近在用电子束刻蚀（EBL）做纳米器件加工，但最近遇见些问题，一直无法解决，希望有这方面经验的人指点下。
问题：光刻胶用的PMMA，最近显影定影是，发现基片上出现大量白色点点，面积很大，显影液用的    甲基异丁基甲酮：异丙醇=1：3 V/V。重新配了几次显影液，还是出现这个问题。
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1楼 2011-07-13 17:25:48
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franckchen

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by txglove at 2011-07-14 09:18:32
显影后，用异丙醇泡30秒即可，应该是没有问题了

显影液从哪里买的，厂家提供的快用完了，买不到新的。

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-12-02 00:41:23
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txglove

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

dianbo118(金币+5): 谢谢关注。问题已经解决，是试剂的问题，重新用光谱纯的试剂配的显定影液 2011-07-18 08:28:20
显影后，用异丙醇泡30秒即可，应该是没有问题了
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分享知识，改变命运
2楼2011-07-14 09:18:32
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k13mello

银虫 (初入文坛)
电波，遇到问题了呀。猜猜我是谁
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3楼2011-07-15 11:21:05
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