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dianbo118木虫 (小有名气)
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[求助]
遇到的电子束刻蚀显影液的问题
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我们课题组最近在用电子束刻蚀（EBL）做纳米器件加工，但最近遇见些问题，一直无法解决，希望有这方面经验的人指点下。 问题：光刻胶用的PMMA，最近显影定影是，发现基片上出现大量白色点点，面积很大，显影液用的 甲基异丁基甲酮：异丙醇=1：3 V/V。重新配了几次显影液，还是出现这个问题。 |
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2楼2011-07-14 09:18:32
3楼2011-07-15 11:21:05
franckchen 
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-12-02 00:41:23