| 查看: 1791 | 回复: 3 | |||
dianbo118木虫 (小有名气)
|
[求助]
遇到的电子束刻蚀显影液的问题
|
|
我们课题组最近在用电子束刻蚀（EBL）做纳米器件加工，但最近遇见些问题，一直无法解决，希望有这方面经验的人指点下。 问题：光刻胶用的PMMA，最近显影定影是，发现基片上出现大量白色点点，面积很大，显影液用的 甲基异丁基甲酮：异丙醇=1：3 V/V。重新配了几次显影液，还是出现这个问题。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有63人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 光刻和电子束刻蚀做金属图案
已经有8人回复
- SU-8负性光刻 溶剂
已经有12人回复
- 【求助】请问一下光刻胶是什么东西？成分是什么？
已经有6人回复
2楼2011-07-14 09:18:32
3楼2011-07-15 11:21:05
franckchen 
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 188.7
- 散金: 180
- 帖子: 125
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 2760475
- 注册: 2013-10-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-12-02 00:41:23
