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[求助]
哪有对外进行光刻加工的？
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我想用光刻技术加工模板，最小精度为2微米，要求光刻胶厚度最好能达到10微米（甚至更厚），不需要套刻。不知道哪个公司或者研究所能加工啊？虫友们帮帮忙啊！ |
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maccaboy
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
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- 散金: 15
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- 注册: 2006-07-16
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- 专业: 敏感电子学与传感器
8楼2012-09-19 14:24:26
2楼2011-06-30 11:12:55
4楼2011-07-05 21:04:59
【答案】应助回帖
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楼主是说光刻还是做掩模板？我实验室可以做镀膜、光刻、刻蚀的全程工艺，光刻精度0.5微米都没问题的。光刻胶厚度为15~30微米的都有。不过厚度10微米或更厚的光刻胶是很难曝好精度为2微米的图形的，这一点要先知道。 联系电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
5楼2011-07-06 23:41:20