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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)

[求助] 哪有对外进行光刻加工的?

我想用光刻技术加工模板,最小精度为2微米,要求光刻胶厚度最好能达到10微米(甚至更厚),不需要套刻。不知道哪个公司或者研究所能加工啊?虫友们帮帮忙啊!
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foxs

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主是说光刻还是做掩模板?我实验室可以做镀膜、光刻、刻蚀的全程工艺,光刻精度0.5微米都没问题的。光刻胶厚度为15~30微米的都有。不过厚度10微米或更厚的光刻胶是很难曝好精度为2微米的图形的,这一点要先知道。

联系电话:15108299816赵工  
邮箱:zyy44138172@126.com
5楼2011-07-06 23:41:20
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guozhenxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

wjhw0520(金币+2): 谢谢!你做过吗?有联系方式吗? 2011-07-05 16:50:48
北京工业大学可以
精通的目的全在于应用!
2楼2011-06-30 11:12:55
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guozhenxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

网站上有,我师兄有做过的!
精通的目的全在于应用!
4楼2011-07-05 21:04:59
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txglove

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

南京55所,中科院苏州纳米所都可以的
分享知识,改变命运
6楼2011-07-14 09:16:03
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