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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 哪有对外进行光刻加工的？
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)

[求助] 哪有对外进行光刻加工的？

我想用光刻技术加工模板，最小精度为2微米，要求光刻胶厚度最好能达到10微米（甚至更厚），不需要套刻。不知道哪个公司或者研究所能加工啊？虫友们帮帮忙啊！
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1楼 2011-06-20 09:39:45
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玖月冥

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by foxs at 2011-07-06 23:41:20:
楼主是说光刻还是做掩模板？我实验室可以做镀膜、光刻、刻蚀的全程工艺，光刻精度0.5微米都没问题的。光刻胶厚度为15~30微米的都有。不过厚度10微米或更厚的光刻胶是很难曝好精度为2微米的图形的，这一点要先知道 ...

请问用什么方法可以刻蚀掉硼钛复合膜啊？我想用湿法刻蚀做，但不知道用什么去刻蚀。
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7楼2011-08-03 09:52:41
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guozhenxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

wjhw0520(金币+2): 谢谢！你做过吗？有联系方式吗？ 2011-07-05 16:50:48
北京工业大学可以
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精通的目的全在于应用！
2楼2011-06-30 11:12:55
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guozhenxi

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

网站上有，我师兄有做过的！
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精通的目的全在于应用！
4楼2011-07-05 21:04:59
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foxs

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主是说光刻还是做掩模板？我实验室可以做镀膜、光刻、刻蚀的全程工艺，光刻精度0.5微米都没问题的。光刻胶厚度为15~30微米的都有。不过厚度10微米或更厚的光刻胶是很难曝好精度为2微米的图形的，这一点要先知道。

联系电话：15108299816赵工  
邮箱：zyy44138172@126.com
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5楼2011-07-06 23:41:20
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