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战狼传说

木虫 (正式写手)

[求助] 如何用磁控溅射的方法,制备可以测量铁电性的薄膜样品?

请问如何用磁控溅射的方法制备的薄膜材料,欲测量其铁电性需制备成什么样的样品?
有几种制样方法,电极如何加上去?
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仗剑施忠义,挥戈定太平。
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abooo

木虫 (著名写手)

建议多看一些文献和相关书籍,毕竟这些都是一些基础问题,不是试验上的具体困难。顺祝科研顺利。
活着就是幸福~~!
2楼2011-04-19 22:19:18
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战狼传说

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by abooo at 2011-04-19 22:19:18:
建议多看一些文献和相关书籍,毕竟这些都是一些基础问题,不是试验上的具体困难。顺祝科研顺利。

文献上一般用金属作为底电极,也有人直接用硅基片作为底电极,请问以硅做基底的方法是不是对所有测铁电性的设备都适用?因为我们的薄膜样品是直接沉积在硅基片上的,可否直接在上面镀上电极来测其铁电性?
仗剑施忠义,挥戈定太平。
3楼2011-04-20 17:24:57
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