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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 如何用磁控溅射的方法，制备可以测量铁电性的薄膜样品？
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战狼传说

木虫 (正式写手)

[求助] 如何用磁控溅射的方法，制备可以测量铁电性的薄膜样品？

请问如何用磁控溅射的方法制备的薄膜材料，欲测量其铁电性需制备成什么样的样品？
有几种制样方法，电极如何加上去？
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仗剑施忠义，挥戈定太平。
1楼 2011-04-19 20:58:35
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abooo

木虫 (著名写手)
建议多看一些文献和相关书籍，毕竟这些都是一些基础问题，不是试验上的具体困难。顺祝科研顺利。
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活着就是幸福~~!
2楼2011-04-19 22:19:18
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战狼传说

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by abooo at 2011-04-19 22:19:18:
建议多看一些文献和相关书籍，毕竟这些都是一些基础问题，不是试验上的具体困难。顺祝科研顺利。

文献上一般用金属作为底电极，也有人直接用硅基片作为底电极，请问以硅做基底的方法是不是对所有测铁电性的设备都适用？因为我们的薄膜样品是直接沉积在硅基片上的，可否直接在上面镀上电极来测其铁电性？
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仗剑施忠义，挥戈定太平。
3楼2011-04-20 17:24:57
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