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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】刻蚀掉SiO2，但是保护ITO导电层，用什么溶液刻蚀呢？
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zhulu21

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2011-03-29 10:09:22
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ecind

捐助贵宾 (小有名气)
二氧化硅能溶于浓热的强碱溶液：SiO2 ＋ 2NaOH = Na2SiO3 ＋ H2O

ITO是不耐酸的，遇酸腐蚀，

不过ITO玻璃也不贵，http://www.zh-kv.com/Kaivo/ProductView.asp?ID=31&SortID=124
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3楼2011-04-06 10:09:56
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
HF与ITO反应吗，ITO相当稳定的
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2楼2011-03-29 13:10:13
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