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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 【求助】退火对肖特基势垒的影响
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zzqwexppl

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】退火对肖特基势垒的影响

请问后退火对Metal/Semiconduct films界面势垒高度是否有影响？

在结晶度好的半导体SrTiO3薄膜(已退火)上用离子溅射发镀一层Pt电极。附：SrTiO3薄膜是用溶胶凝胶法制备出来的。
之后：
是否需要对镀好Pt电极的SrTiO3薄膜进行退火？？？
这次对电极的退火 是否会影响Pt/SrTiO3界面处的势垒高度？？？

这个问题困扰了在下很久，这次希望通过发帖在此能够找到解决这个问题的答案。
希望各位看到这个帖的能人帮我解决解决这个难题。
万分感谢了。

我的邮箱地址：zhengzhengqiu@163.com
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1楼 2011-03-07 13:29:30
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不用退后了，因为在溅射镀Pt电极的时候，已经升温了，相当于退火了。如果想形成欧姆接触的话可以考虑退火
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2楼2013-08-29 21:20:57
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