应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问反应离子刻蚀PMMA
51/1返回列表
查看: 853  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ldbz

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问反应离子刻蚀PMMA

用氧气
大概多久能刻掉1毫米?
谢谢

[ Last edited by ldbz on 2010-12-15 at 16:04 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-15 16:02:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ivanfigo

新虫 (正式写手)
ldbz(金币+40):谢谢了 2010-12-15 23:20:21
你干脆把金币都给我吧。
大约50w，10sccm，10pa，2nm每秒。
加大功率到100w或者150w，能达到5nm左右每秒貌似
赞一下 回复此楼
6楼2010-12-15 22:28:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

lijiao51566

木虫 (正式写手)
ldbz(金币+5):能不能给个数量级的概念,比如每分钟大概刻多少 2010-12-15 16:23:24
应该要考虑氧气的压强吧
赞一下 回复此楼
2楼2010-12-15 16:21:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijiao51566

木虫 (正式写手)
提高样品基片的散热性   降低刻蚀温度都可以提高垂直刻蚀速率  但侧向刻蚀速率也会提高
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-15 16:25:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lijiao51566

木虫 (正式写手)
ldbz(金币+5):谢谢 2010-12-15 17:40:04
反应离子刻蚀PMMA 的各向异性刻蚀研究   我也是在这篇文献里看的
赞一下 回复此楼
4楼2010-12-15 16:31:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭