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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问反应离子刻蚀PMMA
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ldbz

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问反应离子刻蚀PMMA

用氧气
大概多久能刻掉1毫米?
谢谢

[ Last edited by ldbz on 2010-12-15 at 16:04 ]
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1楼 2010-12-15 16:02:19
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lijiao51566

木虫 (正式写手)
ldbz(金币+5):能不能给个数量级的概念,比如每分钟大概刻多少 2010-12-15 16:23:24
应该要考虑氧气的压强吧
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2楼2010-12-15 16:21:07
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lijiao51566

木虫 (正式写手)
提高样品基片的散热性   降低刻蚀温度都可以提高垂直刻蚀速率  但侧向刻蚀速率也会提高
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3楼2010-12-15 16:25:02
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lijiao51566

木虫 (正式写手)
ldbz(金币+5):谢谢 2010-12-15 17:40:04
反应离子刻蚀PMMA 的各向异性刻蚀研究   我也是在这篇文献里看的
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4楼2010-12-15 16:31:51
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ivanfigo

新虫 (正式写手)
和功率，压力，流量有关
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5楼2010-12-15 22:22:14
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ivanfigo

新虫 (正式写手)
ldbz(金币+40):谢谢了 2010-12-15 23:20:21
你干脆把金币都给我吧。
大约50w，10sccm，10pa，2nm每秒。
加大功率到100w或者150w，能达到5nm左右每秒貌似
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6楼2010-12-15 22:28:45
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dugu

木虫 (小有名气)
ldbz(金币+5):thx 2010-12-15 23:22:40
可参阅文献
Plasma etch rate measurements of thin PMMA films and correlation with the glass transition temperature
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7楼2010-12-15 23:17:17
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