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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ldbz

新虫 (正式写手)


[交流] 【求助】请问反应离子刻蚀PMMA

用氧气
大概多久能刻掉1毫米?
谢谢

[ Last edited by ldbz on 2010-12-15 at 16:04 ]
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lijiao51566

木虫 (正式写手)


ldbz(金币+5):谢谢 2010-12-15 17:40:04
反应离子刻蚀PMMA 的各向异性刻蚀研究   我也是在这篇文献里看的
4楼2010-12-15 16:31:51
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lijiao51566

木虫 (正式写手)


ldbz(金币+5):能不能给个数量级的概念,比如每分钟大概刻多少 2010-12-15 16:23:24
应该要考虑氧气的压强吧
2楼2010-12-15 16:21:07
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lijiao51566

木虫 (正式写手)


提高样品基片的散热性   降低刻蚀温度都可以提高垂直刻蚀速率  但侧向刻蚀速率也会提高
3楼2010-12-15 16:25:02
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ivanfigo

新虫 (正式写手)


和功率,压力,流量有关
5楼2010-12-15 22:22:14
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