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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】PMMA剖面做电镜
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snchenge8778

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议
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1楼 2010-12-02 10:37:15
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solar散人

金虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:44
既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？
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2楼2010-12-03 19:48:27
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧（而这种技巧也根据具体的情况而定，这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了）或者特殊的设备，比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切（milling）出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材，我就没有概念了
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3楼2010-12-03 19:56:37
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:57
引用回帖:
Originally posted by solar散人 at 2010-12-03 19:48:27:
既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？

我PMMA表面上是做的一排排纳米沟道，我用激光切割机切剖面，由于高温PMMA片子熔融，把纳米通道堵上了，看不见剖面了。
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4楼2010-12-04 09:45:44
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:02:04
引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2010-12-03 19:56:37:


PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等 ...

是单纯的PMMA片子，PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。
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5楼2010-12-04 09:47:02
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solar散人

金虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:35:13
直接刀切开就行了。我跟你做的差不多。都是用刀切开的。
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6楼2010-12-04 14:27:02
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:31:55
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:35:21
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:15
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-04 09:47:02:

是单纯的PMMA片子，PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。

那就用FIB切割，注意在切割之前喷金或碳！
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7楼2010-12-04 17:33:52
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by solar散人 at 2010-12-03 19:48:27:
既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？

你好 有那么快的刀吗？能使剖面不变形，你是用什么刀切割的？
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9楼2010-12-05 09:29:18
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2010-12-04 17:33:52:

那就用FIB切割，注意在切割之前喷金或碳！

你好，请问切割之强喷金或炭的目的是什么？
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10楼2010-12-05 09:32:40
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by solar散人 at 2010-12-04 14:27:02:
直接刀切开就行了。我跟你做的差不多。都是用刀切开的。

我的PMMA片子1毫米厚呢，没有那么快的刀呀
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11楼2010-12-05 09:34:41
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★ ★
snchenge8778(金币+1):谢谢参与
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 11:35:51
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:41
呵呵，我一直以为你的样品的图案长度非常小没法用刀去切割呢。
如果长度在100微米左右是没法准确地手工切的，所以可以借助设备。目前就我所知最好用聚焦离子束(FIB)了，因为这种技术能够非常精确地对微纳米结构进行加工。
由于该技术用的原理与SEM相似，绝缘样品会导致电荷积聚charging，所以需要在结构表面进行导电处理。
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12楼2010-12-05 10:46:49
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snchenge8778

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-05 09:32:40:
你好，请问切割之强喷金或炭的目的是什么？

我想用扫面电镜看纳米沟道的三维结构
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13楼2011-03-21 10:35:09
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solar散人

金虫 (正式写手)
★ ★
snchenge8778(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:52
就是用切割玻璃的金刚石玻璃刀啊，不贵，好一点的二三百，差的几十块。当然这种技术是比较粗糙的，如果压印的图案是几百个纳米，基本没问题，如果是几十个纳米，我到是没做过。切割的时候从硅片的反面切。不要从PMMA测切。
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14楼2011-03-21 14:21:39
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jabbawocky

铁虫 (小有名气)
★
snchenge8778(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-04 09:45:44:
我PMMA表面上是做的一排排纳米沟道，我用激光切割机切剖面，由于高温PMMA片子熔融，把纳米通道堵上了，看不见剖面了。

表面涂上一层保护层，然后切。沟槽被保护层填充，就不会堵住了。
可以用PDMS，常温固化48小时。切完可以直接揭掉，它和PMMA不粘。
如果断面不光滑，可以机械抛光+离子束。

你把沟槽直接做边儿不行吗？
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15楼2011-04-16 01:08:39
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jabbawocky

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2011-03-21 10:35:09:
我想用扫面电镜看纳米沟道的三维结构

AFM看不好吗？
不知道你的纳米沟道怎么做的，如果是纳米压印，把图形直接压到材料边儿上，不用切接能看到横截面了
FIB可以做的很好，但是成本太高。还是想些简单的方法把，亚微米尺度三维形貌用AFM，激光共焦都可以看了。
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16楼2011-04-16 01:13:58
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简单回复
quanten8楼
2010-12-05 02:59  
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:35:28
FIB
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