[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？非常感谢各位朋友能给我点建议

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1楼 2010-12-02 10:37:15

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solar散人

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★ ★
snchenge8778(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:52

就是用切割玻璃的金刚石玻璃刀啊，不贵，好一点的二三百，差的几十块。当然这种技术是比较粗糙的，如果压印的图案是几百个纳米，基本没问题，如果是几十个纳米，我到是没做过。切割的时候从硅片的反面切。不要从PMMA测切。

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14楼2011-03-21 14:21:39

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solar散人

金虫 (正式写手)

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snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:44

既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？

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2楼2010-12-03 19:48:27

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quanbaogang

木虫 (正式写手)

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snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51

引用回帖:

Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧（而这种技巧也根据具体的情况而定，这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了）或者特殊的设备，比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切（milling）出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材，我就没有概念了