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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】PMMA剖面做电镜
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snchenge8778

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议
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1楼 2010-12-02 10:37:15
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧（而这种技巧也根据具体的情况而定，这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了）或者特殊的设备，比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切（milling）出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材，我就没有概念了
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3楼2010-12-03 19:56:37
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:31:55
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 09:35:21
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:15
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-04 09:47:02:

是单纯的PMMA片子，PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。

那就用FIB切割，注意在切割之前喷金或碳！
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7楼2010-12-04 17:33:52
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★ ★
snchenge8778(金币+1):谢谢参与
snchenge8778(金币+2): 2010-12-05 11:35:51
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-21 15:10:41
呵呵，我一直以为你的样品的图案长度非常小没法用刀去切割呢。
如果长度在100微米左右是没法准确地手工切的，所以可以借助设备。目前就我所知最好用聚焦离子束(FIB)了，因为这种技术能够非常精确地对微纳米结构进行加工。
由于该技术用的原理与SEM相似，绝缘样品会导致电荷积聚charging，所以需要在结构表面进行导电处理。
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12楼2010-12-05 10:46:49
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