应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】PMMA剖面做电镜
51/1返回列表
查看: 2096  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

snchenge8778

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-02 10:37:15
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？  非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧（而这种技巧也根据具体的情况而定，这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了）或者特殊的设备，比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切（milling）出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材，我就没有概念了
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-12-03 19:56:37
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

solar散人

金虫 (正式写手)
snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:44
既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-12-03 19:48:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

snchenge8778

木虫 (小有名气)
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:57
引用回帖:
Originally posted by solar散人 at 2010-12-03 19:48:27:
既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？

我PMMA表面上是做的一排排纳米沟道，我用激光切割机切剖面，由于高温PMMA片子熔融，把纳米通道堵上了，看不见剖面了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-12-04 09:45:44
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

snchenge8778

木虫 (小有名气)
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:02:04
引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2010-12-03 19:56:37:


PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等 ...

是单纯的PMMA片子，PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-12-04 09:47:02
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭