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snchenge8778

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开,可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜?  非常感谢各位朋友能给我点建议
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snchenge8778

木虫 (小有名气)


wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:02:04
引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2010-12-03 19:56:37:


PMMA片子
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM,观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等 ...

是单纯的PMMA片子,PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。
5楼2010-12-04 09:47:02
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solar散人

金虫 (正式写手)


snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:44
既然要剖开,怎么可能不破坏图形,你是不是在PMMA表面做图形的啊?直接切开就行了。一般破坏不大的,SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思?又或者难道PMMA里面有纳米图形吗?
2楼2010-12-03 19:48:27
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quanbaogang

木虫 (正式写手)


snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51
引用回帖:
Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开,可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜?  非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM,观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧(而这种技巧也根据具体的情况而定,这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了)或者特殊的设备,比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切(milling)出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材,我就没有概念了
3楼2010-12-03 19:56:37
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snchenge8778

木虫 (小有名气)


wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:57
引用回帖:
Originally posted by solar散人 at 2010-12-03 19:48:27:
既然要剖开,怎么可能不破坏图形,你是不是在PMMA表面做图形的啊?直接切开就行了。一般破坏不大的,SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思?又或者难道PMMA里面有纳米图形吗?

我PMMA表面上是做的一排排纳米沟道,我用激光切割机切剖面,由于高温PMMA片子熔融,把纳米通道堵上了,看不见剖面了。
4楼2010-12-04 09:45:44
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