[交流] 【求助】PMMA剖面做电镜

请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？非常感谢各位朋友能给我点建议

回复此楼

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有1人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有73人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号已经有0人回复
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名已经有0人回复
XPS/?λXPS 已经有0人回复
检索报告求助已经有5人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2010-12-02 10:37:15

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

snchenge8778

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2606.7
帖子: 293
在线: 228.6小时
虫号: 679316

wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:02:04

引用回帖:

Originally posted by quanbaogang at 2010-12-03 19:56:37:

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等 ...

是单纯的PMMA片子，PMMA表面上是用纳米SI模具热压的纳米沟道。

赞一下(1人)

回复此楼

5楼2010-12-04 09:47:02

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 16 个回答

solar散人

金虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 5854
帖子: 582
在线: 172.2小时
虫号: 1140204

snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:44

既然要剖开，怎么可能不破坏图形，你是不是在PMMA表面做图形的啊？直接切开就行了。一般破坏不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是这个意思？又或者难道PMMA里面有纳米图形吗？

赞一下(1人)

回复此楼

2楼2010-12-03 19:48:27

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3449.9
帖子: 472
在线: 55.3小时
虫号: 273719

snchenge8778(金币+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓励交流 2010-12-04 11:01:51

引用回帖:

Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
请问用什么方法将PMMA片子掰开或者切开，可以不损坏剖面的纳米图形去做电镜？非常感谢各位朋友能给我点建议

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片还是单纯的PMMA材料啊。

一般经常碰到的是电子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的纳米结构需要看SEM，观察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和显影等工艺参数。那样需要技巧（而这种技巧也根据具体的情况而定，这里不知道LZ的具体情况也就不好详细说了）或者特殊的设备，比如蒸镀或者溅射设备蒸镀一层金属、用聚焦离子束即FIB来原位切（milling）出一个剖面来。

但是如果是PMMA块材，我就没有概念了