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【求助】反应溅射法中的问题 已有2人参与
虫友您好!
我是搞材料计算的,由于实验方面欠缺,看了文献是反应溅射法,该文的作者用混合气体进行了实验,其中有氧气和氮气,结果随氧的压力增加,共掺Ga和N的ZnO半导体转化成了p型半导体,请问:随氧的压力增加,混合气体氧气和氮气的浓度怎样变化,请高手解答为盼,详细点,谢谢你的指导. |
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