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【求助】反应溅射法中的问题 已有2人参与
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虫友您好! 我是搞材料计算的,由于实验方面欠缺,看了文献是反应溅射法,该文的作者用混合气体进行了实验,其中有氧气和氮气,结果随氧的压力增加,共掺Ga和N的ZnO半导体转化成了p型半导体,请问:随氧的压力增加,混合气体氧气和氮气的浓度怎样变化,请高手解答为盼,详细点,谢谢你的指导. |
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 反应磁控溅射 |
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cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
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- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2010-11-27 12:35:02
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虫友您好，文献已上传至纳米盘 http://d.namipan.com/d/7276eaa96 ... 0872cc8f4b57edf0000 麻烦您看看，由于本文和我的计算有很大的关系，所以请多指点，在此谢过！ 祝您工作愉快！ |
3楼2010-11-28 10:18:49