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power1

金虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】本征硅薄膜电极制备

大家好,麻烦问一下,本征硅薄膜怎么制作电极?用什么金属,什么工艺?随着晶化率的不同,用的材料和工艺通用吗?请懂得的大虾们详细的告诉小弟一下,谢谢了!
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)


我还在纳闷呢,晶化率和电极有啥关系呢。电极测电学性能,用溅射方法还不如你直接焊锡点几个点测试呢,这个接触电阻感觉要小些,可以试试,这是个土办法,倒是方便,哈哈,顺便说一下,你做的本征模晶化率不同,电导率会不同啊,电阻在wM欧姆级别很正常
12楼2010-11-26 08:47:08
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power1

金虫 (初入文坛)


哪个大虾懂,告诉我啊,急求啊。。。。。。。
2楼2010-11-18 17:07:12
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丫丫680

木虫 (著名写手)



power1(金币+1):谢谢参与
捷联惯导
你的专业好高深啊,祝福你早日找到答案
3楼2010-11-18 17:23:42
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soloroc

木虫 (小有名气)



power1(金币+1):谢谢参与
通常用金属银
做成栅格装
4楼2010-11-18 21:09:09
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