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【求助】弱弱弱问:关于二氧化硅表面的电荷问题
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最近看半导体物理,有个问题请教大家 在MOS器件中,硅表面一般覆盖一层SiO2,SiO2有多种形式的电荷或能量状态 SiO2层中的可移动离子子,如带正电的Na+, K+等。请问,整个SiO2表面是中性的还是只有正电荷?还是说除了可移动的正离子还有固定的负电荷? 我的理解是表面就是正电的,不是对不对。 |
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