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ekin007

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】弱弱弱问:关于二氧化硅表面的电荷问题

最近看半导体物理,有个问题请教大家
在MOS器件中,硅表面一般覆盖一层SiO2,SiO2有多种形式的电荷或能量状态
SiO2层中的可移动离子子,如带正电的Na+, K+等。请问,整个SiO2表面是中性的还是只有正电荷?还是说除了可移动的正离子还有固定的负电荷?

我的理解是表面就是正电的,不是对不对。
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xuzanetti

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★
小木虫:)(金币+3):3q 2011-01-05 03:14:22
引用回帖:
Originally posted by ekin007 at 2010-11-05 10:59:33:
最近看半导体物理,有个问题请教大家
在MOS器件中,硅表面一般覆盖一层SiO2,SiO2有多种形式的电荷或能量状态
SiO2层中的可移动离子子,如带正电的Na+, K+等。请问,整个SiO2表面是中性的还是只有正电荷?还是 ...

SIO2内部有可动正电荷,固定正电荷,陷阱。接触面还纯在表面态,一般整个SiO2呈正电性~使半导体能级向下弯曲
2楼2011-01-04 21:36:20
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