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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】金属薄膜如何计算电阻率
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she_

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】金属薄膜如何计算电阻率

使用四探针法测薄膜电阻率，薄膜尺寸4*12mm,膜厚在100nm以下，如何排列探针比较好？
已用间距不等的直线法尝试过，但计算出来的数值误差很大，请广大虫友指教
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1楼 2010-11-03 10:49:47
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jiji18

银虫 (小有名气)
she_(金币+3):谢谢 2010-11-09 09:54:51
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针，两根电压针。
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2楼2010-11-08 22:58:22
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soloroc

木虫 (小有名气)
she_(金币+3): 2010-11-09 09:56:34
是不是接触点控制问题没有做好？
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3楼2010-11-09 00:46:01
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she_

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by jiji18 at 2010-11-08 22:58:22:
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针，两根电压针。

我是不等间距的啊，不知道为什么修正了公式还是不行，能不能呢个问下你测得是哪种材料？
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4楼2010-11-09 09:55:59
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she_

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by soloroc at 2010-11-09 00:46:01:
是不是接触点控制问题没有做好？

我是用金属铟做电极的，数据能测出来，就是趋势不对。你的意思是不是我用铟做电极误差大了？
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

玖辛奈
5楼2010-11-09 09:58:31
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anhuliji

木虫 (小有名气)
she_(金币+1):谢谢，能说的详细一点吗 2010-11-09 10:26:43
参考下范德堡法
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6楼2010-11-09 10:10:01
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anhuliji

木虫 (小有名气)
she_(金币+3):谢谢 2010-11-10 09:35:08
看下这个吧
http://g.zhubajie.com/urllink.php?id=10176059xg16k1omxm3yr0qt
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7楼2010-11-09 16:48:00
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jiji18

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by she_ at 2010-11-09 09:55:59:

我是不等间距的啊，不知道为什么修正了公式还是不行，能不能呢个问下你测得是哪种材料？

我测的是半导体薄膜哈。我们实验室的四探针是等间距的。我还不知道有不等间距的呢。
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8楼2010-11-09 22:08:22
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she_

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by jiji18 at 2010-11-09 22:08:22:

我测的是半导体薄膜哈。我们实验室的四探针是等间距的。我还不知道有不等间距的呢。

我的是金属~可能误差比较大
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9楼2010-11-10 09:36:05
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玖辛奈

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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引用回帖:
5楼: Originally posted by she_ at 2010-11-09 09:58:31
我是用金属铟做电极的，数据能测出来，就是趋势不对。你的意思是不是我用铟做电极误差大了？

请问您电极是怎么和样品做在一起的？

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10楼2016-03-02 15:59:54
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