应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答中转子版 » 问Si衬底电阻率对薄膜的影响
71/1返回列表
查看: 1559  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

[交流] 问Si衬底电阻率对薄膜的影响

请问Si衬底不同的电阻率，对淀积的薄膜有怎样的影响。如果要了解这些知识应当看那些资料。现在选择Si衬底，怎样对电阻率进行选择？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2010-09-15 14:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。
赞一下 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-09-15 14:50:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfja

新虫 (初入文坛)
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。
赞一下 回复此楼
3楼2010-09-16 16:46:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
引用回帖:
Originally posted by wfja at 2010-09-16 16:46:37:
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。

有回答影响。你这样测得的结果实际上包含了衬底的影响，薄膜本身的结果反而不容易得到了。
赞一下 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-09-16 16:56:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
回答更正为很大。
回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
5楼2010-09-16 16:57:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfja

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2010-09-16 16:56:55:

有回答影响。你这样测得的结果实际上包含了衬底的影响，薄膜本身的结果反而不容易得到了。

奥，这样啊。。。那谢谢指正。。。嘿嘿。。
赞一下 回复此楼
6楼2010-11-15 11:32:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yn6319

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2010-09-15 14:50:13:
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。

请教怎样测薄膜的电阻率，样品的形状方形的怎么测，不是要算直径修正因子么谢谢
赞一下 回复此楼
7楼2010-12-09 10:20:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jljjlj_0 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭