应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答中转子版 » 问Si衬底电阻率对薄膜的影响
51/1返回列表
查看: 1515  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

[交流] 问Si衬底电阻率对薄膜的影响

请问Si衬底不同的电阻率，对淀积的薄膜有怎样的影响。如果要了解这些知识应当看那些资料。现在选择Si衬底，怎样对电阻率进行选择？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2010-09-15 14:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yn6319

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2010-09-15 14:50:13:
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。

请教怎样测薄膜的电阻率，样品的形状方形的怎么测，不是要算直径修正因子么谢谢
赞一下 回复此楼
7楼2010-12-09 10:20:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。
赞一下 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-09-15 14:50:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfja

新虫 (初入文坛)
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。
赞一下 回复此楼
3楼2010-09-16 16:46:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
引用回帖:
Originally posted by wfja at 2010-09-16 16:46:37:
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。

有回答影响。你这样测得的结果实际上包含了衬底的影响，薄膜本身的结果反而不容易得到了。
赞一下 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-09-16 16:56:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭