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jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

[交流] 问Si衬底电阻率对薄膜的影响

请问Si衬底不同的电阻率，对淀积的薄膜有怎样的影响。如果要了解这些知识应当看那些资料。现在选择Si衬底，怎样对电阻率进行选择？
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1楼 2010-09-15 14:42:19
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-09-15 14:50:13
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wfja

新虫 (初入文坛)
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。
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3楼2010-09-16 16:46:37
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
引用回帖:
Originally posted by wfja at 2010-09-16 16:46:37:
衬底的电阻率对镀膜的电阻率应该没有影响。。。因为数字式四探针可以直接测膜的电阻率。。

有回答影响。你这样测得的结果实际上包含了衬底的影响，薄膜本身的结果反而不容易得到了。
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-09-16 16:56:55
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
回答更正为很大。
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没有困难创造困难也要上网。
5楼2010-09-16 16:57:24
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wfja

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2010-09-16 16:56:55:

有回答影响。你这样测得的结果实际上包含了衬底的影响，薄膜本身的结果反而不容易得到了。

奥，这样啊。。。那谢谢指正。。。嘿嘿。。
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6楼2010-11-15 11:32:17
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yn6319

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2010-09-15 14:50:13:
如果薄膜是导电的，且将来要测电学特性，则衬底一般要求是绝缘的。

请教怎样测薄膜的电阻率，样品的形状方形的怎么测，不是要算直径修正因子么谢谢
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7楼2010-12-09 10:20:11
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