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问Si衬底电阻率对薄膜的影响
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| 请问Si衬底不同的电阻率，对淀积的薄膜有怎样的影响。如果要了解这些知识应当看那些资料。现在选择Si衬底，怎样对电阻率进行选择？ |
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2楼2010-09-15 14:50:13
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，样品的形状方形的怎么测，不是要算直径修正因子么谢谢 7楼2010-12-09 10:20:11