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she_

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】金属薄膜如何计算电阻率

使用四探针法测薄膜电阻率,薄膜尺寸4*12mm,膜厚在100nm以下,如何排列探针比较好?
已用间距不等的直线法尝试过,但计算出来的数值误差很大,请广大虫友指教
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jiji18

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by she_ at 2010-11-09 09:55:59:

我是不等间距的啊,不知道为什么修正了公式还是不行,能不能呢个问下你测得是哪种材料?

我测的是半导体薄膜哈。我们实验室的四探针是等间距的。我还不知道有不等间距的呢。
8楼2010-11-09 22:08:22
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jiji18

银虫 (小有名气)

she_(金币+3):谢谢 2010-11-09 09:54:51
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针,两根电压针。
2楼2010-11-08 22:58:22
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soloroc

木虫 (小有名气)

she_(金币+3): 2010-11-09 09:56:34
是不是接触点控制问题没有做好?
3楼2010-11-09 00:46:01
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she_

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by jiji18 at 2010-11-08 22:58:22:
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针,两根电压针。

我是不等间距的啊,不知道为什么修正了公式还是不行,能不能呢个问下你测得是哪种材料?
4楼2010-11-09 09:55:59
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