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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】金属薄膜如何计算电阻率
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she_

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】金属薄膜如何计算电阻率

使用四探针法测薄膜电阻率，薄膜尺寸4*12mm,膜厚在100nm以下，如何排列探针比较好？
已用间距不等的直线法尝试过，但计算出来的数值误差很大，请广大虫友指教
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1楼 2010-11-03 10:49:47
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she_

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by jiji18 at 2010-11-09 22:08:22:

我测的是半导体薄膜哈。我们实验室的四探针是等间距的。我还不知道有不等间距的呢。

我的是金属~可能误差比较大
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9楼2010-11-10 09:36:05
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jiji18

银虫 (小有名气)
she_(金币+3):谢谢 2010-11-09 09:54:51
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针，两根电压针。
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2楼2010-11-08 22:58:22
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soloroc

木虫 (小有名气)
she_(金币+3): 2010-11-09 09:56:34
是不是接触点控制问题没有做好？
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3楼2010-11-09 00:46:01
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she_

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by jiji18 at 2010-11-08 22:58:22:
就用四个针是等间距直线那种吧。误差不是很大。两根电流针，两根电压针。

我是不等间距的啊，不知道为什么修正了公式还是不行，能不能呢个问下你测得是哪种材料？
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4楼2010-11-09 09:55:59
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