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【求助】弱弱问一句,磁控溅射能喷碳吗? 已有2人参与
做高分辨电镜需要喷碳,一般喷碳都要用蒸镀仪,现在实验室有磁控溅射仪,所以想用磁控溅射的方法喷碳,之前没这样做过,不知道能不能这样做,哪位知道的,请指教!
1、磁控溅射能喷碳吗?
2、如果能,则与蒸镀法喷的碳层质量有什么区别? |
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