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haosir88

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】在Si(100)基片上沉积的薄膜测量XRD图解。 已有8人参与

在Si(100)基片上沉积的薄膜测量XRD时,可观测到Si(400)衍射峰与Si(200)衍射峰,然而Si(200)是满足系统消光条件,为什么依然能观测到?请高手指点。
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小小蕾蕾

金虫 (小有名气)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2379488楼: Originally posted by liuhaifeng7758 at 2011-12-10 21:09:22
楼主,你做的是什么薄膜,是不是可能薄膜取向性很好,在33度那个是你薄膜的峰呢?...

请问Si(100)基片上的(400)峰是在33度吗?
我这次做的样品测XRD在33度都会出现一个很强的峰,强度达到50000,当我把样品转90度测的时候这个峰会消失或者变小,不知道是不是硅片上的峰,在jade里面没有查到
“生活就像心电图,要想一帆风顺除非你死了。”
9楼2012-09-26 08:00:15
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查看全部 11 个回答

mokangxin

木虫 (正式写手)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
Si(200)并没有消光。几何结构因子F(G)=4f。你可以算一下看是不是。
Si是金刚石结构,对(200)面:
F(G)=f[1+e^iPI(h/2+k/2+l/2)]+e^iPI(h+k)+e^iPI(h+l)+e^iPI(k+l)+e^iPI(h/2+3k/2+3l/2)+e^iPI(3h+3k/2+l/2)+e^iPI(3h/2+k/2+3l/2)=f(1+e^iPI+e^2iPI+e^2iPI+1+e^iPI+e^3iPI+e^3iPI)=f(1+0+1+1+1+0+0)=4f
没有消光。不知道有没有算错,可以验算下。呵呵
2楼2010-09-13 12:47:22
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haosir88

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by mokangxin at 2010-09-13 12:47:22:
Si(200)并没有消光。几何结构因子F(G)=4f。你可以算一下看是不是。
Si是金刚石结构,对(200)面:
F(G)=f[1+e^iPI(h/2+k/2+l/2)]+e^iPI(h+k)+e^iPI(h+l)+e^iPI(k+l)+e^iPI(h/2+3k/2+3l/2)+e^iPI(3h+3k/2+l/2 ...

谢谢关注,请看下面推导:
3楼2010-09-13 17:32:32
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mokangxin

木虫 (正式写手)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
呵呵!谢谢指正。
4楼2010-09-14 08:36:52
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