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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】干法刻蚀 不同线宽的深度
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】干法刻蚀 不同线宽的深度已有1人参与

同样的刻蚀条件下，不同线宽的刻蚀速率。相同时间是宽的刻得深还是窄的刻得深，要有文献的数据佐证。
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1楼2010-09-10 16:40:28
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zeusshang

金虫 (小有名气)
通常来说是宽的刻得深，宽槽中等离子体能够有效地进行交换，刻蚀出来的微粒能够及时地被排走。
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微纳加工
2楼2010-09-10 23:19:30
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zeusshang

金虫 (小有名气)
zhangwj:thanks 2010-09-11 20:53:24
xiaowenzi2(金币+5):谢谢 2010-09-13 08:28:48
引用回帖:
Originally posted by zeusshang at 2010-09-10 23:19:30:
通常来说是宽的刻得深，宽槽中等离子体能够有效地进行交换，刻蚀出来的微粒能够及时地被排走。

当图形尺寸较小时候才会体现的比较明显。
上传个图看看，文献自己找找吧。
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微纳加工
3楼2010-09-10 23:29:41
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1024247900

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
宏观负载效应是暴露面积大刻蚀速率慢，微观负载效应是CD大，刻蚀速率快。
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为了梦想加油！
4楼2017-09-17 11:09:53
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