24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1017  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】干法刻蚀 不同线宽的深度 已有1人参与

同样的刻蚀条件下,不同线宽的刻蚀速率。相同时间是宽的刻得深还是窄的刻得深,要有文献的数据佐证。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zeusshang

金虫 (小有名气)

zhangwj:thanks 2010-09-11 20:53:24
xiaowenzi2(金币+5):谢谢 2010-09-13 08:28:48
引用回帖:
Originally posted by zeusshang at 2010-09-10 23:19:30:
通常来说是宽的刻得深,宽槽中等离子体能够有效地进行交换,刻蚀出来的微粒能够及时地被排走。

当图形尺寸较小时候才会体现的比较明显。
上传个图看看,文献自己找找吧。
微纳加工
3楼2010-09-10 23:29:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

zeusshang

金虫 (小有名气)

通常来说是宽的刻得深,宽槽中等离子体能够有效地进行交换,刻蚀出来的微粒能够及时地被排走。
微纳加工
2楼2010-09-10 23:19:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1024247900

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
宏观负载效应是暴露面积大刻蚀速率慢,微观负载效应是CD大,刻蚀速率快。
为了梦想加油!
4楼2017-09-17 11:09:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 325求调剂 +5 李嘉图·S·路 2026-03-23 5/250 2026-03-27 00:42 by wxiongid
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +8 y7czhao 2026-03-26 8/400 2026-03-26 19:51 by 不吃魚的貓
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +5 星沉uu 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:02 by macy2011
[考研] 一志愿 西北大学 总分282 英语一62 求调剂 +7 18419759900 2026-03-25 7/350 2026-03-26 16:07 by 不吃魚的貓
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 招08考数学 +8 laoshidan 2026-03-20 17/850 2026-03-25 17:52 by 一个红太阳
[考研] 材料学硕,求调剂 6+4 糖葫芦888ll 2026-03-22 9/450 2026-03-25 11:19 by greychen00
[考研] 一志愿武理085500机械专业总分300求调剂 +3 an10101 2026-03-24 7/350 2026-03-25 00:00 by 山鬼0-
[考研] 300求调剂,材料科学英一数二 +5 leaflight 2026-03-24 5/250 2026-03-24 16:25 by laoshidan
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程(085601) +5 WW.' 2026-03-23 7/350 2026-03-24 14:50 by sprinining
[基金申请] 请教下大家 2026年国家基金申请是双盲审吗? +3 lishucheng1 2026-03-22 5/250 2026-03-24 08:22 by gltch
[考研] 一志愿山东大学药学学硕求调剂 +3 开开心心没烦恼 2026-03-23 4/200 2026-03-24 00:06 by 开开心心没烦恼
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 276求调剂 +3 YNRYG 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:31 by 醉在风里
[考研] 求调剂一志愿海大,0703化学学硕304分,有大创项目,四级已过 +6 幸运哩哩 2026-03-22 10/500 2026-03-22 20:10 by edmund7
[考研] 269专硕求调剂 +6 金恩贝 2026-03-21 6/300 2026-03-22 14:31 by ColorlessPI
[考研] 一志愿深大,0703化学,总分302,求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[考研] 材料与化工(0856)304求 B区 调剂 +3 邱gl 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:47 by lature00
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 @taotao 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:35 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见