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【求助】要在薄膜上刻出一个大约3*0.5um的桥,用什么办法?
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vincentwz
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【求助】要在薄膜上刻出一个大约3*0.5um的桥,用什么办法?
已有3人参与
想用聚焦离子束,哪有,麻烦提供一下联系方式。有什么其他办法也说说吧
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1楼
2010-07-31 10:06:47
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miloyy
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
FIB应该不少地方有吧
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5楼
2010-08-13 23:51:48
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jinxiaoyun
木虫
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
可以先用光刻胶吗????再镀膜
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2楼
2010-08-13 15:49:39
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专业: 红外物理与技术
微电子研究所应该有离子束设备,可以考虑一下
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3楼
2010-08-13 23:27:34
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铜虫
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虫号: 909524
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专业: 红外物理与技术
主要是这个0.5微米的宽度很难实现,不好控制
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4楼
2010-08-13 23:28:23
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