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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】要在薄膜上刻出一个大约3*0.5um的桥,用什么办法? 已有3人参与

想用聚焦离子束,哪有,麻烦提供一下联系方式。有什么其他办法也说说吧
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good256

铜虫 (正式写手)

微电子研究所应该有离子束设备,可以考虑一下
3楼2010-08-13 23:27:34
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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可以先用光刻胶吗????再镀膜
2楼2010-08-13 15:49:39
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good256

铜虫 (正式写手)

主要是这个0.5微米的宽度很难实现,不好控制
4楼2010-08-13 23:28:23
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miloyy

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
FIB应该不少地方有吧
5楼2010-08-13 23:51:48
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