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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】要在薄膜上刻出一个大约3*0.5um的桥，用什么办法？
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】要在薄膜上刻出一个大约3*0.5um的桥，用什么办法？ 已有3人参与

想用聚焦离子束，哪有，麻烦提供一下联系方式。有什么其他办法也说说吧
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1楼 2010-07-31 10:06:47
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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以先用光刻胶吗？？？？再镀膜
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2楼2010-08-13 15:49:39
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good256

铜虫 (正式写手)
微电子研究所应该有离子束设备，可以考虑一下
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3楼2010-08-13 23:27:34
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good256

铜虫 (正式写手)
主要是这个0.5微米的宽度很难实现，不好控制
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4楼2010-08-13 23:28:23
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miloyy

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
FIB应该不少地方有吧
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-08-13 23:51:48
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