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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】硅片的稳定钝化
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cqwssc

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅片的稳定钝化 已有5人参与

Sample TextSample Text
        请教，常规切割的硅片，化学腐蚀去损伤层后，稳定钝化的方法。
        由于设备原因，不考虑氮化硅气相沉积钝化；HF和碘酒钝化，本人也有实验，不太稳定。
         请多多指教！从速啊！
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Jerry7733

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THESUNISFUTURE
1楼 2010-05-27 09:25:39
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cqwssc

铜虫 (初入文坛)
问题，为得到解决啊
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THESUNISFUTURE
3楼2010-06-03 12:47:39
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★ ★ ★ ★
cqwssc(金币+1): 2010-05-28 10:11:22
小木虫:)(金币+5):好久不见老兄了，欢迎常回来看看^_^ 2010-05-28 13:23:40
热氧化sio2比较稳定，其他通过H+离子钝化都不稳定，碘酒也是一样的只是通过I+离子钝化而已，只是看你是用做什么的，钝化后立马去测寿命就可以了。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-05-27 10:27:03
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Jerry7733

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
楼主后来找到答案了吗  我目前也遇到和你一样的问  能否分享啊？
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最初的梦想
5楼2013-05-05 14:40:42
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netbox123

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by ddx-k at 2010-05-27 10:27:03
热氧化sio2比较稳定，其他通过H+离子钝化都不稳定，碘酒也是一样的只是通过I+离子钝化而已，只是看你是用做什么的，钝化后立马去测寿命就可以了。

支持该观点，如果稳定钝化能轻易达到，生产制备就不那么麻烦了。如果主是了解一下硅片寿命，优化碘酒浓度和时间有利于提高测试准确度。如果你是要存放清洗后的硅片，可以加上一层氧化膜，用的时候用HF除去。在清洗并去除自然氧化层后，采用HNO3 70%（115摄氏度，10分钟）处理。
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6楼2013-05-06 16:46:16
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