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铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅片的稳定钝化已有5人参与

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      请教，常规切割的硅片，化学腐蚀去损伤层后，稳定钝化的方法。
      由于设备原因，不考虑氮化硅气相沉积钝化；HF和碘酒钝化，本人也有实验，不太稳定。
      请多多指教！从速啊！

Jerry7733

THESUNISFUTURE

1楼 2010-05-27 09:25:39

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金虫 (小有名气)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

2楼: Originally posted by ddx-k at 2010-05-27 10:27:03
热氧化sio2比较稳定，其他通过H+离子钝化都不稳定，碘酒也是一样的只是通过I+离子钝化而已，只是看你是用做什么的，钝化后立马去测寿命就可以了。

支持该观点，如果稳定钝化能轻易达到，生产制备就不那么麻烦了。如果主是了解一下硅片寿命，优化碘酒浓度和时间有利于提高测试准确度。如果你是要存放清洗后的硅片，可以加上一层氧化膜，用的时候用HF除去。在清洗并去除自然氧化层后，采用HNO3 70%（115摄氏度，10分钟）处理。

6楼2013-05-06 16:46:16

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