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【求助】硅片的稳定钝化 已有5人参与
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Sample TextSample Text 请教，常规切割的硅片，化学腐蚀去损伤层后，稳定钝化的方法。 由于设备原因，不考虑氮化硅气相沉积钝化；HF和碘酒钝化，本人也有实验，不太稳定。 请多多指教！从速啊！ |
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3楼2010-06-03 12:47:39