24小时热门版块排行榜    

查看: 1534  |  回复: 5

cqwssc

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅片的稳定钝化 已有5人参与

Sample TextSample Text
        请教,常规切割的硅片,化学腐蚀去损伤层后,稳定钝化的方法。
        由于设备原因,不考虑氮化硅气相沉积钝化;HF和碘酒钝化,本人也有实验,不太稳定。
         请多多指教!从速啊!
回复此楼
THESUNISFUTURE
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★ ★ ★ ★
cqwssc(金币+1): 2010-05-28 10:11:22
小木虫:)(金币+5):好久不见老兄了,欢迎常回来看看^_^ 2010-05-28 13:23:40
热氧化sio2比较稳定,其他通过H+离子钝化都不稳定,碘酒也是一样的只是通过I+离子钝化而已,只是看你是用做什么的,钝化后立马去测寿命就可以了。
2楼2010-05-27 10:27:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cqwssc

铜虫 (初入文坛)

问题,为得到解决啊
THESUNISFUTURE
3楼2010-06-03 12:47:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
小木虫:):请勿在物理版纯表情灌水 2010-08-07 13:52:57
4楼2010-08-07 08:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jerry7733

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
楼主后来找到答案了吗  我目前也遇到和你一样的问  能否分享啊?
最初的梦想
5楼2013-05-05 14:40:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

netbox123

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by ddx-k at 2010-05-27 10:27:03
热氧化sio2比较稳定,其他通过H+离子钝化都不稳定,碘酒也是一样的只是通过I+离子钝化而已,只是看你是用做什么的,钝化后立马去测寿命就可以了。

支持该观点,如果稳定钝化能轻易达到,生产制备就不那么麻烦了。如果主是了解一下硅片寿命,优化碘酒浓度和时间有利于提高测试准确度。如果你是要存放清洗后的硅片,可以加上一层氧化膜,用的时候用HF除去。在清洗并去除自然氧化层后,采用HNO3 70%(115摄氏度,10分钟)处理。
6楼2013-05-06 16:46:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cqwssc 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +12 墨墨漠 2026-03-18 13/650 2026-03-21 01:42 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华南师大 070300(化学)304分求调剂 +3 0703武芊慧雪304 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:48 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工 322求调剂 +4 然11 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:12 by luoyongfeng
[考研] 350求调剂 +5 weudhdk 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:04 by luoyongfeng
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生(接收计算机专业调剂) +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 281求调剂(0805) +14 烟汐忆海 2026-03-16 25/1250 2026-03-20 15:47 by yuncha
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
[考研] 081700化工学硕调剂 +3 【1】 2026-03-16 3/150 2026-03-19 23:40 by edmund7
[考研] 288求调剂,一志愿华南理工大学071005 +5 ioodiiij 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:22 by zcl123
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +9 一鸭鸭哟 2026-03-14 11/550 2026-03-19 17:22 by !本暗一次!
[考研] 材料考研调剂 +3 xwt。 2026-03-19 3/150 2026-03-19 11:22 by w沐阳w
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +10 Liwangman 2026-03-15 10/500 2026-03-19 10:25 by 无际的草原
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 6/300 2026-03-18 22:55 by 204818@lcx
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油!? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
信息提示
请填处理意见