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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是怎么清洗基片的?

我对基片的干净度要求很高,可是感觉还是洗的不是很干净。一般基片上都会存在什么样的杂质啊?大家互相交流,希望可以学习哦 呵呵

我一般的清洗程序:希望大家也把各自的清洗方法都写下 交流啊
硅片的清洗:丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-最后去离子水冲洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的时候拿出来吹风机吹干
载玻片的清洗:洗衣粉洗洁精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸:过氧化氢中在80度中放置2个小时-使用丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-去离子水冲洗-放置于乙醇中使用时拿出吹干

[ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ]
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没有做不到只有想不到
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refnew

专家顾问 (知名作家)


已经够干净的了
2楼2010-03-08 12:08:09
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yfju

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
就是这样洗的!很正确。超声时间可以延长点。到15~20min
3楼2010-03-08 13:47:04
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xiaoshao


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这样洗 还能不干净啊
4楼2010-03-08 13:49:47
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
硅片的清洗一般需要用浓硫酸加双氧水(7:3)125度加热20分钟。
当然能够用1#,2#液顺序清洗一下更好了。
微纳加工
5楼2010-03-08 16:12:17
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

谢谢大家交流 呵呵
没有做不到只有想不到
6楼2010-03-08 16:19:22
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by yfju at 2010-03-08 13:47:04:
就是这样洗的!很正确。超声时间可以延长点。到15~20min

因为制作的器件效果还差那么一点 所以 考虑到是不是 基片的干净问题了 呵呵
没有做不到只有想不到
7楼2010-03-08 16:20:59
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sakuraai

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
。。。。收藏了,谢谢楼主。。。
8楼2010-03-08 18:44:57
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kevinsun17

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们少了放置于洗洁精中清洗的步骤。另想问一下你们在浓硫酸里面泡多久啊?
为失败找借口前,请先为成功找方法
9楼2010-03-08 20:33:43
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frankon

禁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽

10楼2010-03-09 01:19:07
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