| 查看: 2435 | 回复: 11 | ||
| 当前主题已经存档。 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[交流]
【讨论】大家都是怎么清洗基片的?
|
||
|
我对基片的干净度要求很高,可是感觉还是洗的不是很干净。一般基片上都会存在什么样的杂质啊?大家互相交流,希望可以学习哦 呵呵 我一般的清洗程序:希望大家也把各自的清洗方法都写下 交流啊 硅片的清洗:丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-最后去离子水冲洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的时候拿出来吹风机吹干 载玻片的清洗:洗衣粉洗洁精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸:过氧化氢中在80度中放置2个小时-使用丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-去离子水冲洗-放置于乙醇中使用时拿出吹干 [ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ] |


5楼2010-03-08 16:12:17
yfju
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 235.6
- 散金: 96
- 帖子: 501
- 在线: 98.9小时
- 虫号: 608846
- 注册: 2008-09-21
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2010-03-08 13:47:04
4楼2010-03-08 13:49:47

6楼2010-03-08 16:19:22













回复此楼